*合作報導：連結

本校電漿與薄膜科技中心成員暨材料系老師李志偉講座教授、張麗君教授、姚栢文助理教與日本名古屋大學低溫電漿科學中心國際合作的成果報導，我們一起發展出新穎的低污染半導體薄膜材料的蝕刻技術！

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