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現有設備及空間

        本系空間由95學年1041.3 m2(315坪)至100學年成長為2,436 m2(738.2坪),其中實驗/實習場所有1616m2(489坪),辦公/會議場所有820m2(248坪),並於99年12月成立校級之薄膜科技與應用中心727 m2 (220坪)。本系建有材料實驗室、掃描式電子顯微鏡實驗室、X光繞射實驗室、表面處理實驗室、陶瓷積體電路實驗室、光電高分子實驗室、光電性質檢測實驗室、半導體材料實驗室、電漿及功能性薄膜實驗室、奈米資訊儲存實驗室、奈米結構實驗室、穿透式電子顯微鏡實驗室、奈米表面分析實驗室、環境資源系統整合實驗室、薄膜產氫實驗室、材料與製程模擬實驗室、物理鍍膜實驗室、化學鍍膜實驗室、高解析場發掃描式電子顯微鏡實驗室、電子材料實驗室、電子顯微鏡實驗室、奈米生醫材料實驗室、燃料電池材料實驗室、專題實驗室等,100學年研究實驗室共24間,其中8間教學實驗室平均每間面積65.1 m2,14間研究實驗室平均每間積67.5m2,供教學及研究發展使用。

 

        自95年起新增添購57項設備(如表1-2所示)以改善本系()教學設備其包含製程設備、檢測設備及模擬分析軟體。本系()主要設備四槍磁控濺鍍機、脈衝磁控濺鍍機、三槍非平衡磁控濺鍍機、X光繞射儀、恆電位儀、石英振盪微量天枰、磨耗試驗機示差掃瞄量熱儀熱重量分析儀原子力顯微鏡直流濺鍍系統套件光激發螢光及磷光光譜量測儀接觸式曝光機網印機箱型高溫爐滾鍍機電壓電流特性量測系統高真空熱處理系統光觸煤分析儀、研磨拋光機、金相顯微鏡、高溫爐、各式硬度計壓電噴墨機管狀爐多功能電表材料模擬之視窗界面軟體材料模擬軟體電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)、活性離子氧化物及金屬蝕刻機、熱蒸鍍機、量子效率分析儀(IPCE)TEM試片凹渦機ICP 強化大面積CVD鍍膜系統、連續式半生產式PVD SEM/EDSFE-SEM/BEIHR-TEM/EDSIon MillerSolar SimulatorAC Impedence SpectrometerSolar Energy Demo. SetIV/CV Measurement SystemContact Angle Measurement SystemFTIRGPCUV-Vis PhotometerLow and High Temp. Four Point ProbesI-V Measurement systemPlasma Enhanced CVDReactive Ion EtcherNanoindenterScratcher testerRapid Thermal Annealing SystemSurface Profiler等設備。

 

1-2  本系()95學年起新增購之設備

添購設備

放置地點

添購設備

放置地點

微硬度計

材料實驗室

真空加熱爐

電子材料實驗室

恆壓電位儀

表面處理實驗室

壓電噴墨機

電子材料實驗室

微量天秤

表面處理實驗室

磁控濺鍍機

物理鍍膜實驗室

恆溫恆濕爐

表面處理實驗室

管狀爐

奈米結構實驗室

電子天平*3

光電高分子、電子材料及燃料電池材料實驗室

高真空熱處理系統

奈米資訊儲存實驗室

光觸媒檢測儀

電漿與功能性薄膜實驗室

工作站

材料與製程模擬實驗室

脈衝產生器

半導體材料實驗室

材料模擬之視窗界面軟體

材料與製程模擬實驗室

I-V量測系統

半導體材料實驗室

材料模擬軟體

材料與製程模擬實驗室

螢光/磷光光譜儀

光電性質檢側實驗室

場發式掃瞄式電子顯微鏡

高解析掃瞄式電子顯微鏡實驗室

UV-VIS光譜儀

光電性質檢側實驗室

背向散射電子

高解析掃瞄式電子顯微鏡實驗室

霍爾效應量測系統

光電性質檢側實驗室

網路交換器

圖書室

振動真空濃縮機

光電高分子實驗室

研磨拋光機

電子顯微鏡實驗室

純化裝置

光電高分子實驗室

純水系統

電子顯微鏡實驗室

IPCE

電漿與功能性薄膜實驗室

光學顯微鏡

電子顯微鏡實驗室

交流阻抗量測系統

電漿與功能性薄膜實驗室

離子減薄機

電子顯微鏡實驗室

太陽能發電整合教學設備

環境資源系統整合實驗室

JEMS TEM影像繞射模擬軟體

電子顯微鏡實驗室

太陽光模擬實驗室

電漿與功能性薄膜實驗室

穿透式電子顯微鏡

TEM實驗室

X光能量散佈分析儀

TEM實驗室

高密度電漿輔助氣相沉積系統

先進化學鍍膜實驗室

交流阻抗分析儀

薄膜產氫實驗室

電漿輔助氣相沉積系統

先進化學鍍膜實驗室

任意波型產生器

薄膜產氫實驗室

連續式物理氣相沉積系統

先進物理鍍膜實驗室

雙極性脈衝電源增幅器

薄膜產氫實驗室

批式物理氣相沉積系統

先進物理鍍膜實驗室

奈米壓痕儀

奈米表面分析實驗室

超音波震盪洗槽

先進物理鍍膜實驗室

熱重量分析儀

光電性質檢測實驗室

磨耗試驗機

薄膜與機械性質實驗室

示差掃描量熱儀

光電性質檢測實驗室

刮痕儀

薄膜與機械性質實驗室

大氣電漿系統

先進電漿實驗室

薄膜壽命量測儀

薄膜與機械性質實驗室

氙氣光源系統

光電檢測實驗室

長波段UV/VIS光譜儀

光電檢測實驗室